MIKROELEKTRONIKENS FYSIK OCH TEKNOLOGIFFF 041

Physics and Technology of Nanometer Structures

Antal poäng: 5.0. Valfri för: D4, E4, F4. Kursansvarig: professor Lars Samuelson, lars.samuelsson@ftf.lth.se. Förkunskapskrav: FTF grundkurs F, Halvledarfysik E eller D. Prestationsbedömning: skriftligt prov. Betygsskala: 3.0 (0.1) 6.0. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Betyget sättes baserat på en sammanvägning av laborationskurs, projektarbete och sluttentamen. Övrigt: Efter det att kursens föreläsningsdel är klar genomförs ett projektarbete under ca 1,5 vecka inom ett ämne som väljs i samråd med kursansvariga. projektarbetet redovisas skriftligt och muntligt.

OBS! Kursen kan komma att ges på engelska.

Innehåll

Nanometerteknologi: Epitaxiell tillväxt av mycket tunna skikt och kvantstrukturer med bla molekylstråleepitaxi (MBE, CBE) och gasfasepitaxi (CDV). Elektronstrålelitografi för mönstring med lateral upplösning kring 20-50 nm. Sveptunnelmikroskopi (STM) och Atomkraftmikroskopi (AFM) för högupplösande studier av nanometerstrukturer.

Fysik på nanometerskala: Elektronstruktur för lågdimensionella system. Optiska egenskaper hos 2-, 1- och 0-dimensionella strukturer. Transportfysikaliska egenskaper hos 2- och 1-dimensionella elektroner i lågdimensionella strukturer.

Tillämpningar inom nano-elektronik: Fotoniska komponenter, lasrar och modulatorer vilka utnyttjar kvantstrukturer. Höghastighetskomponenter baserade på 2-dimensionell elektrongas (HEMT) och resonant tunnling komponenter behandlas liksom enelektronik, dvs komponenter och kretsar vilka bygger på kontrollerad transport och lagring av en enskild elektron.

Litteratur

Stencilerat material.