Technology for Microstructures and Integrated Circuits with Project

Antal poäng: 5.0. Valfri för: E4, F4. Kursansvarig: Mats-Erik Pistol, mats-erik.pistol@ftf.lth.se. Förkunskapskrav: FTF Grundkurs F eller Halvledarfysik E. Prestationsbedömning: Skriftligt prov. Betygskala 3.0(0.1)6.0. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Projektarbetet redovisas vid ett seminarium med obligatoriskt deltagande.

Kursen kan komma att ges på engelska.

Innehåll

Se FFF030 Teknologi för mikrostrukturer och integrerade kretsar.

Litteratur

Sze, S.M: Semiconductor Devices, Physics and Technology. John Wiley & sons, 1985 och stencilerat material.