Gäller för: Läsåret 2020/21
Beslutad av: Programledning N
Beslutsdatum: 2020-03-27
Huvudområde: Nanovetenskap.
Huvudområde: Teknik.
Obligatorisk för: MNAV1, N3
Valfri för: E4, F4, F4-hn, F4-nf, MFOT1
Undervisningsspråk: Kursen ges på engelska
Kursen avser att ge grundläggande kunskaper i framställning och karaktärisering av halvledarkomponenter på nanometerskala. Fokus kommer att ligga på moderna material- och processtekniker, med en klar tyngdpunkt på nanoteknologi. De flesta av processerna är generella och appliceras inom traditionell kiselbaserad IC-teknologi liksom inom avancerad III-V teknologi samt för framställning av MEMS/NEMS.
Kunskap och förståelse
För godkänd kurs skall studenten
Färdighet och förmåga
För godkänd kurs skall studenten
Materialegenskaper för halvledare. Komponentframställning: processöversikter, jämförelse mellan III/V och kisel. Processer: epitaxi, jonimplantation, diffusion, filmdeponering, etsning, litografi. Metall-oxid-halvledargränsskikt som är mycket viktiga i ett antal tillämpningar kommer att gås igenom. Framställning av pn-dioder samt deras elektroniska och optoelektroniska egenskaper och tillämpningar kommer diskuteras. Framställning och principer för MEMS/NEMS (mikro/nano- elektromekaniska system) kommer också att behandlas.
Under ett antal sammanhängande laborationer, kommer några av de genomgångna processtegen att användas för tillverkning av fungerande komponenter. Då det är mycket viktigt att arbete med halvledarstrukturer sker i en extremt ren och dammfri miljö kommer stor tonvikt att läggas vid arbetsmetodik i renrum.
En individuell laborationsrapport (på Engelska) som täcker alla laborationer i kursen.
Betygsskala: TH - (U,3,4,5) - (Underkänd, Tre, Fyra, Fem)
Prestationsbedömning: Skriftlig tentamen och godkända laborationer.
Om så krävs för att en student med varaktig funktionsnedsättning ska ges ett likvärdigt examinationsalternativ jämfört med en student utan funktionsnedsättning, så kan examinator efter samråd med universitetets avdelning för pedagogiskt stöd fatta beslut om alternativ examinationsform för berörd student.
Delmoment
Kod: 0117. Benämning: Process- och komponenteknologi.
Antal högskolepoäng: 7,5. Betygsskala: TH.
Kod: 0217. Benämning: Laborationer och rapport.
Antal högskolepoäng: 0. Betygsskala: UG.
Förutsatta förkunskaper: FFFF01 Elektroniska material eller FFFF05 Fasta tillståndets fysik eller ESSF20 Komponentfysik.
Begränsat antal platser: 70
Urvalskriterier: 1. Platsgaranti för de studenter för vilka kursen är obligatorisk i examen.
2. Avklarade högskolepoäng inom programmet.
Kursen överlappar följande kurser: FFF110
Kursansvarig: Dr. Claes Thelander, claes.thelander@ftf.lth.se
Hemsida: http://www.nano.lth.se/ftf-cth/fff110
Övrig information: En laborationsrapport ska skrivas på engelska.
Närvaro vid första föreläsningen är obligatoriskt för att få tillträde till kursen.