Kursplan för kalenderåret 2004
PROCESS- OCH KOMPONENTTEKNOLOGIFFF110
Processing and Device Technology

Antal poäng: 5. Betygskala: TH. Valfri för: E4, F3. Kursansvarig: Professor Mats-Erik Pistol, mats-erik.pistol@ftf.lth.se, Fasta tillståndets fysik. Förkunskapskrav: FFF100 Termodynamik och elektroniska material eller ESS030 Komponentfysik. Prestationsbedömning: Skriftlig tentamen. Övrigt: Kursen kan komma att ges på engelska. Hemsida: http://www-gu.ftf.lth.se.

Mål
Kursen avser att ge de fundamentala grunderna för elektroniska komponenters funktion och för tillverkning av integrerade kretsar främst i kisel. Hela kedjan från sand till transistorer behandlas.

Innehåll
Följande moment ingår: Framställning av enkristaller: fasdiagram, fördelningskoefficient etc. Epitaxiprocesser: Gasfas-, vätskefas och molekylstråleepitaxi. IC-teknik: Oxidation, CVD-teknik, diffusion, etsning, litografi etc. Då datorsimuleringar kan bli en allt viktigare del av kretstillverkningen ingår ett antal datorövningar vari olika processteg exempelvis oxidering av kisel simuleras och jämförs med laborationsresultat. Avslutningsvis behandlas ett antal ”nya” komponenter typ mikro-elektromekaniska system (nano-motorer o.dyl.).

Litteratur
Sze, S M: Semiconductor Devices, Physics and Technology, 2nd Ed., John Wiley & Sons, 2002.
Stencilerat material.