Antal poäng: 5. Betygskala: TH. Valfri för: E4, F4. Kursansvarig: Mats-Erik Pistol, mats-erik.pistol@ftf.lth.se, Fasta tillståndets fysik. Förkunskapskrav: Fasta tillståndets fysik, grundkurs F (FFF010), Halvledarfysik E (FFF060) eller Komponentfysik (ETI240). Prestationsbedömning: Skriftligt prov. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Projektarbetet redovisas vid ett seminarium med obligatoriskt deltagande. Övrigt: Kursen kan komma att ges på engelska.

Mål
Kursen avser att ge de fundamentala grunderna för tillverkning av integrerade kretsar främst i kisel. Hela kedjan från sand till transistorer behandlas.

Innehåll
Se FFF030 Teknologi för mikrostrukturer och integrerade kretsar. Projekt tillkommer.

Litteratur
Sze, S. M.: Semiconductor Devices, Physics and Technology, 2nd Ed., John Wiley & Sons, 2002 och stencilerat material.