Antal poäng: 3. Betygskala: TH. Valfri för: E4, F4. Kursansvarig: Universitetslektor Mats-Erik Pistol, mats_erik.pistol@ftf.lth.se. Förkunskapskrav: FFF010 Fasta tillståndets fysik, grundkurs F eller Halvledarfysik E. Prestationsbedömning: Skriftligt prov. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Övrigt: Kursen kan komma att ges på engelska.

Mål
Kursen avser att ge de fundamentala grunderna för tillverkning av integrerade kretsar främst i kisel. Hela kedjan från sand till transistorer behandlas.

Innehåll
Följande moment ingår: Framställning av enkristaller: fasdiagram, fördelningskoefficient etc. Epotaxiprocesser: Gasfas-, vätskefas och molekylstråleepitaxi. IC-teknik: Oxidation, CVD-teknik, diffusion, etsning, litografi etc. Då datorsimuleringar kan bli en allt viktigare del av kretstillverkningen ingår ett antal datorövningar vari olika processteg exempelvis oxidering av kisel simuleras och jämförs med laborationsresultat. Avslutningsvis behandlas ett antal "nya" komponenter typ mikro-elektromekaniska system (nano-motorer o.dyl).

Litteratur
Sze, S. M.: Semiconductor Devices, Physics and Technology. John Wiley & Sons, 1985 och stencilerat material.