Poäng: 5.0 Betygskala: TH. Valfri för: E4, F4. Kursansvarig: Mats-Erik Pistol, mats-erik.pistol@ftf.lth.se.. Förkunskapskrav: Fasta tillståndets fysik, grundkurs F eller Halvledarfysik E.. Prestationsbedömning: Skriftligt prov. Betygskala 3.0(0.1)6.0. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Projektarbetet redovisas vid ett seminarium med obligatoriskt deltagande. Övrigt: Kursen kan komma att ges på engelska.

Mål:
Kursen avser att ge de fundamentala grunderna för tillverkning av integrerade kretsar främst i kisel. Hela kedjan från sand till transistorer behandlas.

Innehåll:
Se FFF030 Teknologi för mikrostrukturer och integrerade kretsar.

Litteratur:
Sze, S.M: Semiconductor Devices, Physics and Technology. John Wiley & sons, 1985 och stencilerat material.