Poäng: 5.0 Betygskala: TH Valfri för: E4, F4 Kursansvarig: Mats-Erik Pistol, mats-erik.pistol@ftf.lth.se. Förkunskapskrav: FTF Grundkurs F eller Halvledarfysik E. Prestationsbedömning: Skriftligt prov. Betygskala 3.0(0.1)6.0. För betyg fordras godkänd laborationskurs. Projektarbetet redovisas vid ett seminarium med obligatoriskt deltagande.

OBS! Kursen kan komma att ges på engelska.

Innehåll:
Se FFF030 Teknologi för mikrostrukturer och integrerade kretsar.

Litteratur:
Sze, S.M: Semiconductor Devices, Physics and Technology. John Wiley & sons, 1985 och stencilerat material.